Els sistemes de coixinets d'aire de granit s'utilitzen àmpliament enultraprecisióplataformes de moviment per a la fabricació de semiconductors, alineació òptica i metrologia a escala nanomètrica.
Aquests sistemes eliminen el contacte mecànic mitjançant una fina pel·lícula d'aire a pressió, aconseguint un moviment de fricció gairebé nul.
Principi de coixinet d'aire
Els coixinets d'aire funcionen introduint aire comprimit entre dues superfícies, formant una pel·lícula d'aire de 2-20 μm.
Això elimina:
- fricció mecànica
- Desgast
- Comportament de lliscament enganxós
El sistema es basa en la dinàmica de pel·lícules de fluids i un flux laminar estable.
Paper del granit
El granit proporciona:
- Estabilitat estructural
- Supressió de la deriva tèrmica
- Amortiment de vibracions
Serveix com a base de referència mecànica per al sistema de moviment.
Components del sistema
- Base de granit
- Coixinets d'aire
- Sistema de subministrament d'aire
- Encoders de precisió
- Sistema de control de moviment
Característiques de rendiment
El rendiment típic inclou:
- Precisió de posicionament submicrònica
- Alta rectitud en recorreguts llargs
- Zero joc mecànic
Les principals fonts d'error inclouen la inestabilitat de la pressió de l'aire, la deriva tèrmica i l'error de l'encoder.
Aplicacions
- Inspecció de les oblies de semiconductors
- Sistemes de litografia
- Plataformes d'alineació òptica
- Màquines de metrologia d'alta gamma
Preguntes freqüents
Es desgasten els coixinets d'aire?
Cap contacte mecànic elimina el desgast.
Per què utilitzar granit?
Per a l'estabilitat i l'amortiment de vibracions.
Què limita la precisió?
Estabilitat de l'aire i efectes tèrmics.
Poden transportar càrregues pesades?
Sí, depenent del disseny.
Data de publicació: 03 de juliol de 2026