Base de granit d'ultraprecisió per a la inspecció i metrologia de wafers

1. Ciència de materials superior: Granit negre ZHHIMG®

A diferència del granit estàndard o, pitjor encara, del marbre de menor qualitat utilitzat per fabricants menys escrupolosos, les bases ZHHIMG estan construïdes exclusivament amb el nostre granit negre ZHHIMG® patentat.

● Densitat excepcional: El nostre material té una densitat impressionant d'aproximadament 3100 kg/m³, superior a molts granits negres convencionals d'Europa i Amèrica.

● Estabilitat tèrmica: L'alta densitat i la mínima absorció d'aigua garanteixen una estabilitat dimensional superior, reduint dràsticament l'impacte de la deriva tèrmica durant els cicles d'inspecció crítics.

● Amortiment de vibracions: L'estructura mineral natural proporciona un amortiment intern excepcional, essencial per aïllar les òptiques i els sensors sensibles de les vibracions externes.

2. Capacitat de fabricació i muntatge inigualable

El nostre compromís amb la precisió es resumeix en la nostra creença fonamental: "El negoci de la precisió no pot ser massa exigent".

● Artesania mestra: Les nostres bases estan solapades a mà per tècnics mestres, molts amb més de 30 anys d'experiència, que poden aconseguir una planitud superficial i un paral·lelisme fins al nivell nanomètric, amb una precisió verificada pels interferòmetres làser de Renishaw i els nivells electrònics WYLER.

● Entorn controlat: El mecanitzat i el muntatge final es duen a terme a la nostra sala blanca de 10.000 m² amb temperatura i humitat controlades (simulant les condicions estrictes de la fàbrica de semiconductors). Aquesta instal·lació compta amb una fonamentació de formigó de 1000 mm de gruix i rases antivibratòries de 2000 mm de profunditat, cosa que garanteix un entorn metrològic realment estable.

3. Disseny de precisió integrat (com es mostra a la imatge)

La base es proporciona normalment com un conjunt complex, que sovint inclou:

● Estructures en forma de L/gantry: dissenyades per suportar el moviment vertical (eix Z) dels capçals d'imatge, garantint l'ortogonalitat i la precisió geomètrica.

● Ranures i insercions de precisió: superfícies premecanitzades amb insercions d'acer roscades i forats de precisió per al muntatge de coixinets d'aire, motors lineals (taula XY), sistemes de visió i rails de guia (THK, HIWIN, Rexroth).

● Personalització: Ens especialitzem en mecanitzat a gran escala, capaços de lliurar bases de granit monolítiques de fins a 20 m de longitud i 100 tones de pes, adaptades amb precisió a les vostres necessitats d'equipament.