♦Alúmina (Al2O3)
Les peces de ceràmica de precisió produïdes per ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) es poden fabricar amb matèries primeres ceràmiques d'alta puresa, 92 ~ 97% d'alúmina, 99,5% d'alúmina, > 99,9% d'alúmina i premsa isostàtica en fred CIP.Sinteritzat a alta temperatura i mecanitzat de precisió, precisió dimensional de ± 0,001 mm, suavitat fins a Ra0,1, temperatura d'ús de fins a 1600 graus.Es poden fabricar diferents colors de ceràmica segons els requisits dels clients, com ara: negre, blanc, beix, vermell fosc, etc. Les peces de ceràmica de precisió produïdes per la nostra empresa són resistents a altes temperatures, corrosió, desgast i aïllament, i poden ser s'utilitza durant molt de temps en ambients d'alta temperatura, buit i gas corrosiu.
Àmpliament utilitzat en diversos equips de producció de semiconductors: marcs (suport de ceràmica), substrat (base), braç / pont (manipulador), components mecànics i coixinets d'aire de ceràmica.
nom del producte | Tub quadrat / canonada / vareta de ceràmica d'alta puresa 99 | |||||
Índex | Unitat | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Densitat | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Absorció d'aigua | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Temperatura sinteritzada | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Duresa | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Resistència de flexió (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Resistència a la compressió | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Temperatura de treball llarga | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Màx.Temperatura de treball | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Resistivitat de volum | 20℃ | Ω.cm3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Aplicació de ceràmica d'alúmina d'alta puresa:
1. Aplicat a equips de semiconductors: mandril de buit de ceràmica, disc de tall, disc de neteja, mandril de ceràmica.
2. Peces de transferència d'hòsties: mandrils de manipulació d'hòsties, discos de tall d'hòsties, discs de neteja d'hòsties, ventoses d'inspecció òptica d'hòsties.
3. Indústria de pantalla plana LED / LCD: broquet de ceràmica, disc de rectificat de ceràmica, LIFT PIN, rail PIN.
4. Comunicació òptica, indústria solar: tubs ceràmics, barres de ceràmica, rascadors de ceràmica per serigrafia de plaques de circuit.
5. Parts resistents a la calor i elèctricament aïllants: coixinets ceràmics.
Actualment, la ceràmica d'òxid d'alumini es pot dividir en ceràmica d'alta puresa i ceràmica comuna.La sèrie de ceràmica d'òxid d'alumini d'alta puresa es refereix al material ceràmic que conté més del 99,9% d'Al₂O₃.A causa de la seva temperatura de sinterització de fins a 1650 - 1990 ° C i la seva longitud d'ona de transmissió d'1 ~ 6 μm, normalment es processa en vidre fos en lloc de gresol de platí: que es pot utilitzar com a tub de sodi a causa de la seva transmissió de la llum i resistència a la corrosió. metall alcalí.A la indústria electrònica, es pot utilitzar com a material aïllant d'alta freqüència per a substrats IC.Segons els diferents continguts d'òxid d'alumini, la sèrie de ceràmica d'òxid d'alumini comuna es pot dividir en 99 ceràmiques, 95 ceràmiques, 90 ceràmiques i 85 ceràmiques.De vegades, la ceràmica amb un 80% o un 75% d'òxid d'alumini també es classifica com a sèrie de ceràmica d'òxid d'alumini comuna.Entre ells, s'utilitza material ceràmic d'òxid d'alumini 99 per produir gresol d'alta temperatura, tubs de forn ignífug i materials especials resistents al desgast, com ara coixinets de ceràmica, segells de ceràmica i plaques de vàlvules.La ceràmica d'alumini 95 s'utilitza principalment com a peça resistent al desgast resistent a la corrosió.La ceràmica 85 sovint es barreja en algunes propietats, millorant així el rendiment elèctric i la resistència mecànica.Pot utilitzar molibdè, niobi, tàntal i altres segells metàl·lics, i alguns s'utilitzen com a dispositius elèctrics de buit.
Element de qualitat (valor representatiu) | nom del producte | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Composició química Producte de sinterització fàcil de baix en sodi | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Lol | % | 0.1 | 0,2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Diàmetre de partícules mitjà (MT-3300, mètode d'anàlisi làser) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Mida del cristall | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Densitat de formació** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2,57 | 2,56 | |
Densitat de sinterització** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Velocitat de reducció de la línia de sinterització** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO no s'inclou en el càlcul de la puresa d'Al₂O₃.
* Sense pols d'escala 29,4 MPa (300 kg/cm²), la temperatura de sinterització és de 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: afegiu 0,05 ~ 0,1% de MgO, la sinterabilitat és excel·lent, de manera que és aplicable a ceràmiques d'òxid d'alumini amb una puresa superior al 99%.
AES-22S: caracteritzat per una alta densitat de formació i una baixa taxa de contracció de la línia de sinterització, és aplicable a la fosa de forma lliscant i altres productes a gran escala amb la precisió dimensional requerida.
AES-23 / AES-31-03: Té una densitat de conformació més alta, tixotropia i una viscositat menor que l'AES-22S.el primer s'utilitza per a la ceràmica mentre que el segon s'utilitza com a reductor d'aigua per a materials ignífugs, guanyant popularitat.
♦Característiques del Carbur de Silici (SiC).
Característiques generals | Puresa dels components principals (% en pes) | 97 | |
Color | Negre | ||
Densitat (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorció d'aigua (%) | 0 | ||
Característiques mecàniques | Resistència a la flexió (MPa) | 400 | |
Mòdul jove (GPa) | 400 | ||
Duresa Vickers (GPa) | 20 | ||
Característiques tèrmiques | Temperatura màxima de funcionament (°C) | 1600 | |
Coeficient de dilatació tèrmica | RT ~ 500 °C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT ~ 800 °C | 4.3 | |
Conductivitat tèrmica (W/m x K) | 130 110 | ||
Resistència al xoc tèrmic ΔT (°C) | 300 | ||
Característiques elèctriques | Resistivitat de volum | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Constant dielèctrica | 10 GHz | - | |
Pèrdua dielèctrica (x 10-4) | - | ||
Factor Q (x 104) | - | ||
Tensió de ruptura dielèctrica (KV/mm) | - |
♦Ceràmica de nitrur de silici
Material | Unitat | Si₃N₄ |
Mètode de sinterització | - | Sinteritzat a pressió de gas |
Densitat | g/cm³ | 3.22 |
Color | - | Gris fosc |
Taxa d'absorció d'aigua | % | 0 |
Mòdul Jove | Gpa | 290 |
Duresa Vickers | Gpa | 18-20 |
Resistència a la compressió | Mpa | 2200 |
Força de flexió | Mpa | 650 |
Conductivitat tèrmica | W/mK | 25 |
Resistència al xoc tèrmic | Δ (°C) | 450 - 650 |
Temperatura màxima de funcionament | °C | 1200 |
Resistivitat de volum | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Constant dielèctrica | - | 8.2 |
Força dielèctrica | kV/mm | 16 |