fabricació de semiconductors
Litografia: La litografia és un procés clau en la fabricació de semiconductors que requereix la transferència precisa de patrons de circuits complexos a les oblies. La plataforma de moviment d'aïllament de vibracions actives de precisió XYT sobre la base de granit pot proporcionar un suport estable i un posicionament precís per a l'equip de litografia, garantint que la precisió de la posició de la taula de l'oblia en el procés d'exposició arribi al nivell nanomètric, reduint eficaçment la desviació del patró causada per la vibració i la deformació tèrmica i millorant la precisió de fabricació i el rendiment del xip.
Inspecció de l'oblia: Un cop finalitzada la fabricació de l'oblia, cal inspeccionar-la amb alta precisió per trobar petits defectes i defectes. La plataforma de moviment d'aïllament de vibracions actiu de precisió XYT pot portar equips de detecció, com ara microscopi de feix d'electrons, microscopi de força atòmica, etc., per mantenir un moviment estable i un posicionament precís durant el procés de detecció, de manera que l'equip de detecció pugui escanejar amb precisió la superfície de l'oblia, millorar la resolució i la precisió de la detecció.
Fabricació d'instruments òptics
Esmolat i polit de lents: En el procés de fabricació de lents òptiques, cal esmolar i polir les lents amb alta precisió per obtenir bones propietats òptiques. La plataforma de moviment d'aïllament de vibracions actiu de precisió XYT pot controlar amb precisió la trajectòria de moviment de les eines de mòlta i polit, mentre que la base de granit pot aïllar les vibracions externes, reduir l'impacte de la vibració en la precisió del mecanitzat, per garantir que la planitud i l'acabat de la superfície de la lent compleixin els requisits de disseny.
Muntatge del sistema òptic: En el procés de muntatge del sistema òptic, cal instal·lar amb precisió diversos components òptics en una posició específica per garantir la propagació precisa de la llum i la qualitat de la imatge. La plataforma de moviment d'aïllament de vibracions actiu de precisió XYT amb base de granit pot proporcionar una plataforma estable per a la instal·lació i l'ajust de components òptics, i aconseguir una alineació i un muntatge d'alta precisió dels components òptics mitjançant un control de moviment precís.
aeroespacial
Prova del sistema de navegació inercial: El sistema de navegació inercial és un equip de navegació important en el camp aeroespacial, i la seva precisió afecta directament la precisió de la navegació i la seguretat de vol de les aeronaus. En el procés de prova del sistema de navegació inercial, cal utilitzar una plataforma giratòria d'alta precisió per simular diversos estats de moviment de l'aeronau. La plataforma de moviment d'aïllament de vibracions actiu de precisió XYT es pot utilitzar com a plataforma de suport per a la taula giratòria. Gràcies a un control de moviment precís i un bon rendiment d'aïllament de vibracions, proporciona un entorn de moviment estable i precís per a la prova del sistema de navegació inercial i millora la precisió i la fiabilitat de la prova.
Mecanitzat de pales de motors aeronàutics: La precisió del mecanitzat de la pala del motor aeronàutic té un impacte important en el rendiment i l'eficiència del motor. La plataforma de moviment d'aïllament de vibracions actiu de precisió XYT es pot aplicar al procés de mecanitzat de la pala, com ara el centre de mecanitzat de cinc eixos, controlant amb precisió la trajectòria de moviment de l'eina i mantenint un entorn de processament estable, per aconseguir un mecanitzat d'alta precisió de la pala, per garantir que la precisió del perfil de la pala i la qualitat de la superfície compleixin els requisits de disseny.
proves de recerca científica
Recerca en nanociència: En la recerca en nanociència, cal operar i observar objectes a nanoescala, com ara la preparació de nanomaterials i el muntatge de nanodispositius. La base de granit de la plataforma de moviment d'aïllament de vibracions actives de precisió XYT pot proporcionar una precisió de posicionament submicrònica o fins i tot a nivell nanomètric, proporcionar una plataforma experimental estable i precisa per a la recerca nanocientífica i ajudar els científics a explorar millor els misteris del món nano.
Imatges biomèdiques: En el camp biomèdic, com ara la microscòpia de fluorescència, la microscòpia confocal i altres dispositius d'imatge, per obtenir imatges biològiques d'alta resolució, es requereix un posicionament precís i una imatge estable de la mostra. La plataforma de moviment d'aïllament de vibracions actives de precisió XYT pot transportar mostres biològiques, reduir la vibració i la deriva de les mostres mitjançant un control de moviment precís i un bon rendiment d'aïllament de vibracions, millorar la qualitat i la precisió de les imatges i ajudar els investigadors biomèdics a dur a terme investigacions en profunditat sobre cèl·lules, teixits i altres estructures microscòpiques.
Data de publicació: 11 d'abril de 2025