Fabricació de semiconductors: En el procés de fabricació de xips, el procés de fotolitografia necessita transferir el patró del circuit amb precisió a l'oblia. La base de granit del mòdul de moviment d'ultraprecisió flotant per aire d'un sol eix pot proporcionar un posicionament d'alta precisió i un suport estable per a la taula de l'oblia a l'equip de litografia. Per exemple, ASML i altres fabricants de màquines de litografia de renom internacional utilitzen mòduls de moviment flotant per aire de base de granit als seus equips d'alta gamma, que poden controlar la precisió de posicionament de l'oblia a nivell nanomètric per garantir la precisió del patró de litografia, millorant així la integració i el rendiment del xip.
Camp de mesura de precisió: la CMM és un equip de mesura de precisió que s'utilitza habitualment en la producció industrial, que s'utilitza per mesurar la mida, la forma i la precisió de la posició de la peça. El mòdul de moviment d'ultraprecisió del flotador d'aire d'un sol eix sobre la base de granit es pot utilitzar com a plataforma de moviment de la CMM, que pot realitzar un moviment lineal d'alta precisió i proporcionar una trajectòria de moviment estable per a la sonda de mesura. Per exemple, la CMM d'alta gamma d'Hexagon utilitza aquesta combinació per mesurar peces grans i complexes amb una precisió de mesura fins al nivell de micres, proporcionant una forta garantia per al control de qualitat de les peces en les indústries de l'automoció, l'aeroespacial i altres.
Camp aeroespacial: En el processament i les proves de peces aeroespacials, es requereix una alta precisió. Per exemple, el mecanitzat de les pales dels motors d'avió requereix un control precís de la trajectòria del moviment de l'eina per garantir la precisió del perfil de la pala. La base de granit del mòdul de moviment d'ultraprecisió de flotació d'aire d'un sol eix es pot aplicar al centre de mecanitzat de cinc eixos i altres equips per proporcionar un control de moviment d'alta precisió per a l'eina i garantir que la precisió del mecanitzat de la pala pugui complir els requisits de disseny. Al mateix temps, en el procés de muntatge del motor aeronàutic, també cal utilitzar equips de mesura d'alta precisió per detectar la precisió del muntatge de les peces. El mòdul de moviment de flotació d'aire de la base de granit pot proporcionar un suport estable i un moviment precís per a l'equip de mesura per garantir la qualitat del muntatge.
Camp d'inspecció òptica: En el procés de fabricació i prova de components òptics, cal realitzar un posicionament i mesurament d'alta precisió dels components òptics. Per exemple, quan es fabriquen components òptics d'alta precisió com ara miralls i lents, cal utilitzar interferòmetres i altres equips per detectar la precisió de la forma de la superfície. La base de granit del mòdul de moviment d'ultraprecisió flotant d'aire d'un sol eix es pot utilitzar com a plataforma de moviment de l'interferòmetre, que pot aconseguir una precisió de posicionament submicrònica i proporcionar un suport de dades precís per a la detecció de components òptics. A més, en els equips de processament làser, també cal utilitzar una plataforma de moviment d'alta precisió per controlar la trajectòria d'escaneig del feix làser, la base de granit del mòdul de moviment flotant d'aire pot complir aquest requisit, per aconseguir un processament làser d'alta precisió.
Data de publicació: 07 d'abril de 2025