En la cadena precisa de fabricació de semiconductors, el sistema de transferència d'oblies és com la "línia de vida de la línia de producció de xips", i la seva estabilitat i precisió determinen directament la taxa de rendiment dels xips. La nova generació de sistemes de transferència d'oblies combina revolucionàriament motors lineals amb bases de granit, i els avantatges únics dels materials de granit són precisament el codi central per desbloquejar la transmissió d'alt rendiment.
Base de granit: Construint una "base sòlida com una roca" per a una transmissió estable
El granit, que ha experimentat centenars de milions d'anys de refinament geològic, presenta una cristal·lització mineral interna densa i uniforme. Aquesta característica natural el converteix en un material base ideal per a sistemes de transferència d'oblies. En l'entorn complex de les sales blanques de semiconductors, el granit, amb el seu coeficient d'expansió tèrmica ultrabaix (només 5-7 ×10⁻⁶/℃), pot resistir la calor generada durant el funcionament de l'equip i la influència dels canvis de temperatura ambiental, garantint l'estabilitat de la mida de la base i evitant la desviació de la ruta de transmissió causada per la deformació tèrmica. El seu excel·lent rendiment d'amortiment de vibracions pot absorbir ràpidament les vibracions mecàniques generades durant l'arrencada, l'apagada i l'acceleració dels motors lineals, així com les interferències externes provocades pel funcionament d'altres equips al taller, proporcionant una plataforma estable amb "vibració zero" per a la transmissió d'oblies.
Mentrestant, l'estabilitat química del granit garanteix que no es corroeixi ni s'oxidi en tallers de semiconductors on els reactius àcids i alcalins són volàtils i es requereix una alta neteja, evitant així l'impacte en la precisió de la transmissió a causa de l'envelliment del material o l'adsorció de contaminants. Les característiques de la superfície llisa i densa poden reduir de manera més eficaç l'adhesió de la pols, complint els estrictes estàndards sense pols de les sales blanques i eliminant el risc de contaminació de les oblies des de l'arrel.
L'efecte "col·laboració daurada" dels motors lineals i el granit
Els motors lineals, amb les seves característiques de no tenir joc de transmissió mecànica, alta acceleració i alta velocitat de resposta, doten la transmissió de les oblies dels avantatges de "ràpida, precisa i estable". La base de granit proporciona una plataforma de suport sòlida i fiable. Els dos treballen junts per aconseguir un salt en el rendiment. Quan el motor lineal fa que el portador de l'oblia circuli sobre la pista de la base de granit, la forta rigidesa i estabilitat de la base garanteixen una transmissió eficient de la força motriu del motor, evitant la pèrdua de força o el retard de transmissió causat per la deformació de la base.
Impulsats per la demanda de precisió a nanoescala, els motors lineals poden aconseguir un control de desplaçament a nivell submicrònic. Les característiques de processament d'alta precisió de les bases de granit (amb errors de planitud controlats dins de ±1 μm) coincideixen perfectament amb el control precís dels motors lineals, garantint conjuntament que l'error de posicionament durant la transmissió de l'oblia sigui inferior a ±5 μm. Tant si es tracta de trasllats d'alta velocitat entre diversos equips de procés com d'un aparcament precís per al trasllat de l'oblia, la combinació de motors lineals i bases de granit pot garantir "desviació zero i fluctuació zero" en la transmissió de l'oblia.
Verificació de pràctiques industrials: doble millora en eficiència i taxa de rendiment
Després d'actualitzar el seu sistema de transferència d'oblies, una empresa líder mundial en semiconductors va adoptar una solució de motor lineal + base de granit, que va augmentar l'eficiència de transferència d'oblies en un 40%, va reduir la taxa d'ocurrència de fallades com ara col·lisions i desplaçaments durant el procés de transferència en un 85% i va millorar la taxa de rendiment global dels xips en un 6%. Darrere d'aquestes dades hi ha la garantia de l'estabilitat de transmissió proporcionada per la base de granit i l'efecte sinèrgic d'alta velocitat i precisió del motor lineal, que redueix significativament les pèrdues i els errors en el procés de transmissió de l'oblia.
Des de les propietats dels materials fins a la fabricació de precisió, des dels avantatges de rendiment fins a la verificació pràctica, la combinació de motors lineals i bases de granit ha redefinit els estàndards dels sistemes de transferència de blisters. En el futur, quan la tecnologia dels semiconductors avanci cap als processos de 3 nm i 2 nm, els materials de granit segurament continuaran injectant un fort impuls al desenvolupament de la indústria amb els seus avantatges irreemplaçables.
Data de publicació: 14 de maig de 2025