El llit de granit és un component important en diversos dispositius semiconductors. Com a material altament estable i rígid, el granit s'utilitza àmpliament com a base per a equips de processament de semiconductors. Es caracteritza pel seu baix coeficient de dilatació tèrmica, alta estabilitat dimensional i excel·lents propietats mecàniques. A causa d'aquestes propietats, el llit de granit s'utilitza més habitualment en tres tipus diferents de dispositius semiconductors: equips de metrologia, equips de litografia i equips d'inspecció.
Els equips de metrologia s'utilitzen per mesurar i detectar les dimensions crítiques dels dispositius semiconductors. Tenen un paper crucial en el manteniment de la qualitat i la consistència del procés de fabricació de semiconductors. Els equips de metrologia inclouen instruments com ara microscopis òptics, microscopis electrònics i microscopis de força atòmica (AFM). Com que el rendiment d'aquests instruments de mesura depèn de la seva estabilitat, precisió i resistència a les vibracions, el granit és l'elecció ideal per al seu material de llit. La uniformitat i l'estabilitat del llit de granit proporcionen una plataforma estable per als instruments, cosa que millora la seva precisió i fiabilitat.
Els equips de litografia s'utilitzen per fer els patrons de microxips a l'oblia. El procés de litografia requereix un alt nivell de precisió i exactitud per crear circuits complexos i millorar el rendiment del xip. L'equip de litografia inclou sistemes pas a pas i escàner que utilitzen la llum per transferir imatges a l'oblia. Com que el procés de litografia és molt sensible a les vibracions i als canvis tèrmics, un llit d'alta qualitat és essencial per garantir l'estabilitat i la repetibilitat del procés de litografia. Els llits de granit proporcionen l'estabilitat necessària i un rendiment d'amortiment de vibracions estricte per als sistemes de litografia. El llit de granit permet que el sistema pas a pas o escàner mantingui relacions espacials precises, garantint una alta precisió i qualitat del producte final.
Els equips d'inspecció s'utilitzen per detectar qualsevol defecte en els dispositius semiconductors. Els equips d'inspecció inclouen sistemes com ara microscopis d'escaneig làser, microscopis electrònics i microscopis òptics. Amb la necessitat que aquests dispositius siguin altament precisos, estables i resistents a les vibracions, els llits de granit són el material perfecte. Les propietats mecàniques i l'estabilitat dimensional del granit ajuden a l'aïllament de les vibracions, cosa que millora la precisió de la sortida de l'equip d'inspecció.
En conclusió, el llit de granit és crucial per a la indústria dels semiconductors i s'utilitza àmpliament en diferents tipus d'equips. Les seves propietats úniques, com ara l'estabilitat dimensional, el baix coeficient d'expansió tèrmica i l'excel·lent estabilitat mecànica, fan del granit l'elecció ideal per al material de llit dels equips semiconductors. Com que el llit de granit d'alta qualitat proporciona l'estabilitat, la precisió i la resistència a les vibracions necessàries als equips semiconductors, millora en última instància la qualitat del producte final. Per tant, l'ús del llit de granit en equips semiconductors segurament continuarà durant els propers anys.
Data de publicació: 03 d'abril de 2024