El llit de granit és un component important en diversos dispositius de semiconductors. Com a material altament estable i rígid, el granit s’utilitza àmpliament com a base per a equips de processament de semiconductors. Es caracteritza pel seu baix coeficient d’expansió tèrmica, estabilitat dimensional d’alta dimensió i excel·lents propietats mecàniques. A causa d’aquestes propietats, el llit de granit s’utilitza més sovint en tres tipus diferents de dispositius semiconductors: equips de metrologia, equips de litografia i equips d’inspecció.
Els equips de metrologia s’utilitzen per mesurar i detectar les dimensions crítiques dels dispositius semiconductors. Té un paper crucial en el manteniment de la qualitat i la consistència del procés de fabricació de semiconductors. Els equips de metrologia inclouen instruments com microscopis òptics, microscopis electrònics i microscopis de força atòmica (AFMS). Atès que el rendiment d’aquests instruments de mesura depèn de la seva estabilitat, precisió i resistència a les vibracions, el granit és l’elecció ideal per al seu material de llit. La uniformitat i l'estabilitat del llit de granit proporcionen una plataforma estable per als instruments, que millora la seva precisió i fiabilitat.
Els equips de litografia s’utilitzen per fabricar els patrons de microxip a l’hòstia. El procés de litografia requereix un alt nivell de precisió i precisió per crear circuits complexos i millorar el rendiment del xip. Els equips de litografia inclouen sistemes pas a pas i escàner que utilitzen llum per transferir imatges a la hòstia. Com que el procés de litografia és altament sensible a les vibracions i als canvis tèrmics, un llit d’alta qualitat és essencial per assegurar l’estabilitat i la repetibilitat del procés de litografia. Els llits de granit proporcionen l’estabilitat necessària i el rendiment d’amortiment de vibracions estrictes per als sistemes de litografia. El llit de granit permet que el sistema de pas o escàner mantingui relacions espacials precises garantint una alta precisió i la qualitat del producte final.
Els equips d’inspecció s’utilitzen per detectar qualsevol defecte als dispositius de semiconductors. Els equips d’inspecció inclouen sistemes com ara microscopis d’escaneig làser, microscopis electrònics i microscopis òptics. Amb la necessitat que aquests dispositius siguin altament precisos, estables i resistents a les vibracions, els llits de granit són el material perfecte. Les propietats mecàniques i l'estabilitat dimensional del granit ajuden a l'aïllament de les vibracions, cosa que millora la precisió de la sortida dels equips d'inspecció.
En conclusió, el llit de granit és crucial per a la indústria dels semiconductors i s’utilitza àmpliament en diferents tipus d’equips. Les seves propietats úniques com l’estabilitat dimensional, el coeficient d’expansió tèrmica baixa i l’estabilitat mecànica excel·lent fan que el granit sigui l’elecció ideal per al material del llit dels equips de semiconductors. Com que el llit de granit d’alta qualitat proporciona l’estabilitat, la precisió i la resistència de les vibracions necessàries als equips de semiconductors, en última instància millora la qualitat del producte final. Per tant, l’ús del llit de granit en equips de semiconductors segur que continuarà durant els propers anys.
Hora de la publicació: 03-203-2024