Els materials de granit s'utilitzen àmpliament en la indústria dels semiconductors a causa de les seves excel·lents característiques, com ara l'alta estabilitat, la baixa expansió tèrmica i l'alta resistència a la corrosió. Aquestes propietats fan del granit un material ideal per construir components d'alta precisió en un sistema de transferència de galetes.
En el procés de fabricació de semiconductors, el sistema de transferència d'oblies juga un paper crític en el transport d'oblies a través de les diferents etapes del procés de fabricació. La precisió i l'exactitud són els requisits essencials per a aquests sistemes, ja que fins i tot petites desviacions podrien posar en perill tot el procés. Per tant, els components del sistema de transferència d'oblies han d'estar fets de materials d'alta qualitat, i el granit compleix aquests criteris.
Algunes parts del sistema de transferència de galeta que estan fetes de materials de granit inclouen:
1. Taula de mandril de buit
La taula de mandril al buit s'utilitza per subjectar l'oblia durant el procés, i ha de tenir una superfície estable per garantir que l'oblia no es faci malbé. El granit és un material ideal per fabricar aquesta taula perquè té una superfície plana i no porosa que proporciona una alta estabilitat i precisió. A més, el granit té un baix coeficient d'expansió tèrmica, cosa que el fa resistent als canvis de temperatura que podrien causar canvis dimensionals a l'oblia.
2. Etapa de coixinet d'aire
L'etapa amb coixinet d'aire s'utilitza per transportar l'oblea a través de les diferents etapes del procés de fabricació. L'etapa està dissenyada per proporcionar un moviment sense fricció, que requereix una alta precisió i estabilitat. El granit s'utilitza en aquesta aplicació perquè és una pedra rígida i dura, i resisteix la deformació i el desgast amb el pas del temps.
3. Guies de moviment lineal
Les guies de moviment lineal s'utilitzen per guiar l'etapa del coixinet d'aire i s'han de posicionar amb precisió per minimitzar els errors. El granit s'utilitza per construir aquesta guia perquè té una excel·lent estabilitat mecànica i resistència. El material també és resistent a la corrosió, cosa que garanteix la longevitat del sistema de guies.
4. Equipament de metrologia
Els equips de metrologia s'utilitzen per mesurar les dimensions i les propietats de l'oblea durant el procés de fabricació. El granit és un material ideal per construir aquest equip perquè té una alta rigidesa, baixa expansió i mínima deformació sota càrrega. A més, l'estabilitat tèrmica del granit garanteix que l'equip de metrologia es mantingui estable i precís al llarg del temps.
En conclusió, la indústria dels semiconductors depèn de la precisió i l'exactitud, i els materials de granit han demostrat ser altament fiables i estables en el procés de fabricació. Com que molts components crítics del sistema de transferència d'oblies requereixen una alta estabilitat, precisió i baixa expansió tèrmica, els enginyers han recorregut als materials de granit per complir aquests requisits crítics.
Data de publicació: 19 de març de 2024