L'estabilitat i la precisió de qualsevol màquina d'ultraprecisió, des de grans màquines de mesura per coordenades (CMM) fins a equips avançats de litografia de semiconductors, es basa fonamentalment en la seva base de granit. Quan es tracta de bases monolítiques d'escala significativa o panells plans de granit complexos de diverses seccions, el procés de muntatge i instal·lació és tan crític com la precisió de fabricació en si. La simple col·locació d'un panell acabat no és suficient; s'han de complir requisits ambientals i estructurals específics per preservar i utilitzar la planitud certificada submicrònica del panell.
1. La base: un substrat estable i anivellat
La idea errònia més comuna és que el panell de granit de precisió, com els que es fabriquen amb el nostre granit negre ZHHIMG® d'alta densitat (3100 kg/m³), pot corregir un sòl inestable. Tot i que el granit ofereix una rigidesa excepcional, ha d'estar suportat per una estructura dissenyada per a una deflexió mínima a llarg termini.
La zona de muntatge ha de tenir un substrat de formigó que no només sigui anivellat, sinó que també hagi estat curat correctament, sovint amb especificacions de gruix i densitat de grau militar, reflectint els paviments de formigó ultra dur de 1000 mm de gruix de les sales de muntatge de ZHHIMG. El més important és que aquest substrat estigui aïllat de fonts de vibracions externes. En el disseny de les nostres bases de màquines més grans, incorporem conceptes com el fossat antivibratori que envolta les nostres sales de metrologia per garantir que la fonamentació en si sigui estàtica i aïllada.
2. La capa d'aïllament: rejuntat i anivellament
S'evita estrictament el contacte directe entre el panell de granit i la fonamentació de formigó. La base de granit ha d'estar recolzada en punts específics calculats matemàticament per anul·lar les tensions internes i mantenir la seva geometria certificada. Això requereix un sistema d'anivellament professional i una capa de rejuntat.
Un cop el panell s'ha col·locat amb precisió mitjançant gats o falques de nivellació ajustables, es bomba una lletada de precisió d'alta resistència i sense retracció a la cavitat entre el granit i el substrat. Aquesta lletada especialitzada s'endureix per formar una interfície uniforme i d'alta densitat que distribueix permanentment el pes del panell de manera uniforme, evitant l'enfonsament o la distorsió que, d'altra manera, podrien introduir tensions internes i comprometre la planitud amb el temps. Aquest pas transforma eficaçment el panell de granit i la fonamentació en una sola massa cohesionada i rígida.
3. Equilibri tèrmic i temporal
Com passa amb tots els treballs de metrologia d'alta precisió, la paciència és primordial. El panell de granit, el material de rejuntat i el substrat de formigó han d'assolir l'equilibri tèrmic amb l'entorn operatiu circumdant abans de realitzar les comprovacions d'alineació finals. Aquest procés pot trigar dies per a panells molt grans.
A més, l'ajust de la anivellació, que es realitza amb instruments com interferòmetres làser i nivells electrònics, s'ha de fer en increments lents i minúsculs, deixant temps perquè el material s'assenti. Els nostres tècnics mestres, que compleixen amb estrictes estàndards de metrologia global (DIN, ASME), entenen que precipitar la anivellació final pot introduir tensions latents, que afloraran més tard a mesura que la precisió es desviï.
4. Integració de components i muntatge personalitzat
Per als components de granit personalitzats o panells plans de granit de ZHHIMG que integren motors lineals, coixinets d'aire o rails CMM, el muntatge final requereix una neteja absoluta. Les nostres sales de muntatge netes i dedicades, que imiten els entorns dels equips semiconductors, són necessàries perquè fins i tot les partícules microscòpiques de pols atrapades entre el granit i un component metàl·lic poden induir microdesviacions. Cada interfície s'ha de netejar i comprovar meticulosament abans de la fixació final, garantint que l'estabilitat dimensional del component es transfereixi perfectament al sistema de la màquina.
En respectar aquests requisits rigorosos, els clients s'asseguren que no només instal·len un component, sinó que defineixen amb èxit les dades definitives per als seus equips d'ultraprecisió, una base garantida per l'experiència en ciència de materials i fabricació de ZHHIMG.
Data de publicació: 29 d'octubre de 2025