En el camp de la fabricació de semiconductors, la precisió submicrònica és la clau per garantir el rendiment dels xips, i la base de granit (ZHHIMG®), amb les seves propietats materials, el processament precís i el disseny innovador, s'ha convertit en la garantia principal per aconseguir aquesta precisió.
Des de la perspectiva de les propietats del material, el granit negre seleccionat per ZHHIMG® té una densitat d'aproximadament 3100 kg/m³, amb una estructura interna densa. Aquesta alta densitat li confereix una estabilitat i rigidesa excepcionals. Durant el funcionament dels equips semiconductors, la rotació dels motors i el moviment dels components mecànics dins de l'equip generaran vibracions. La base de granit pot absorbir eficaçment més del 90% de l'energia de vibració, reduint significativament l'impacte de la vibració en la precisió de l'equip. Mentrestant, el seu coeficient d'expansió tèrmica extremadament baix li permet mantenir la seva deformació dins d'un rang molt petit quan la temperatura ambient fluctua, proporcionant una base de suport estable per als equips semiconductors i evitant el desplaçament dels components de l'equip a causa dels canvis de temperatura, que podrien afectar la precisió.
Pel que fa al processament i la fabricació, la fàbrica ZHHIMG® adopta equips de processament avançats internacionals i disposa de quatre rectificadores extra grans (cada màquina costa més de 500.000 dòlars), que poden realitzar rectificats d'alta precisió sobre granit. Mitjançant el mecanitzat CNC de cinc eixos i altres processos, la planitud de la base de la màquina pot arribar al nivell nanomètric, proporcionant una superfície de referència ultraplana per a la instal·lació d'equips semiconductors i garantint el posicionament precís de cada component de l'equip. A més, el taller de temperatura i humitat constants (que cobreix una superfície de 10.000 metres quadrats) proporciona un entorn estable per al processament. Les trinxeres antivibratòries de 500 mm d'amplada i 2000 mm de profunditat que l'envolten, així com les grues silencioses, aïllen eficaçment les interferències de vibracions externes i garanteixen la precisió del processament de la base de la màquina.
A més, ZHHIMG® també té una forta capacitat de personalització. Per als requisits especials dels equips semiconductors, es poden prefabricar forats d'instal·lació precisos i safates de cables per aconseguir una compatibilitat perfecta entre l'equip i la base. Al mateix temps, en combinació amb equips de metrologia i proves de classe mundial com el calibre de minuts alemany Mahr (amb una precisió de 0,5 µm) i el nivell electrònic suís WYLER, la base de la màquina s'inspecciona i calibra estrictament per garantir que cada base de la màquina pugui complir els requisits estrictes dels equips semiconductors per a una precisió de nivell submicrònic.
És precisament la combinació d'aquests avantatges el que fa que la base de granit ZHHIMG® sigui una opció fiable per aconseguir una precisió submicrònica en equips de semiconductors, cosa que ajuda la fabricació de semiconductors a avançar cap a camps de més precisió.
Data de publicació: 18 de juny de 2025