Al taller de fabricació de semiconductors, els requisits del procés de fabricació de xips pel que fa a les condicions ambientals i la precisió de l'equip són extrems, i qualsevol petita desviació pot provocar una disminució significativa del rendiment del xip. La plataforma de moviment de pòrtic de precisió XYZT es basa en components de granit per col·laborar amb altres parts de la plataforma per construir una base sòlida per aconseguir una precisió a nanoescala.
Excel·lents propietats de bloqueig de vibracions
Al taller de fabricació de semiconductors, el funcionament dels equips perifèrics i el personal que hi circula pot causar vibracions. L'estructura interna dels components de granit és densa i uniforme, amb característiques naturals d'alta amortiment, com una "barrera" de vibracions eficient. Quan la vibració externa es transmet a la plataforma XYZT, el component de granit pot atenuar eficaçment més del 80% de l'energia de vibració i reduir la interferència de la vibració en la precisió del moviment de la plataforma. Al mateix temps, la plataforma està equipada amb un sistema de guia de flotació d'aire d'alta precisió, que funciona conjuntament amb els components de granit. La guia de flotació d'aire utilitza la pel·lícula de gas estable formada per gas d'alta pressió per aconseguir el moviment de suspensió sense contacte de les parts mòbils de la plataforma i reduir la petita vibració causada per la fricció mecànica. Junts, els dos garanteixen que la precisió de posicionament de la plataforma es mantingui sempre al nivell nanomètric en processos clau com la litografia de xips i el gravat, i eviten la desviació dels patrons del circuit de xips causada per la vibració.
Excel·lent estabilitat tèrmica
La fluctuació de la temperatura i la humitat al taller té una gran influència en la precisió dels equips de fabricació de xips. El coeficient d'expansió tèrmica del granit és molt baix, generalment de 5-7 ×10⁻⁶/℃, i la mida gairebé no canvia quan canvia la temperatura. Fins i tot si la diferència de temperatura entre el dia i la nit al taller o la producció de calor de l'equip fa que la temperatura ambient fluctuï, els components del granit poden romandre estables per evitar la deformació de la plataforma a causa de l'expansió i la contracció tèrmiques. Al mateix temps, el sistema intel·ligent de control de temperatura equipat amb la plataforma controla la temperatura ambient en temps real, ajusta automàticament l'aire condicionat i l'equip de dissipació de calor i manté la temperatura del taller a 20 °C ±1 °C. Combinat amb els avantatges de l'estabilitat tèrmica del granit, s'assegura que la plataforma, en funcionament a llarg termini, la precisió del moviment de cada eix sempre compleixi els estàndards de precisió nanomètrica de fabricació de xips, per garantir que la mida del patró de litografia del xip sigui precisa i la profunditat de gravat sigui uniforme.
Satisfer les necessitats d'un entorn net
El taller de fabricació de semiconductors ha de mantenir un alt grau de neteja per evitar que les partícules de pols contaminin el xip. El material de granit en si no produeix pols i la superfície és llisa, no és fàcil d'absorbir la pols. La plataforma en conjunt adopta un disseny d'estructura totalment tancada o semitancada per reduir l'entrada de pols externa. El sistema de circulació d'aire intern està connectat amb el sistema d'aire condicionat net del taller per garantir que la neteja de l'aire intern arribi al nivell requerit per la fabricació de xips. En aquest entorn net, els components de granit no afectaran el rendiment a causa de l'erosió de la pols, i els components clau, com ara sensors i motors d'alta precisió de la plataforma, també poden funcionar de manera estable, proporcionant una garantia de precisió a nanoescala contínua i fiable per a la fabricació de xips i ajudant la indústria dels semiconductors a passar a un nivell de procés superior.
Data de publicació: 14 d'abril de 2025