En els camps de la fabricació de precisió i la investigació científica, la planitud de les plataformes de precisió de granit és un indicador clau per garantir la precisió dels equips. A continuació, es presenta una introducció detallada a diversos mètodes de detecció convencionals i els seus procediments d'operació.
I. Mètode de detecció per interferòmetre làser
L'interferòmetre làser és l'eina preferida per a la detecció de planitud d'alta precisió. Preneu com a exemple l'interferòmetre làser ZYGO GPI XP, la seva resolució pot arribar als 0,1 nm. Quan realitzeu la detecció, primer alineeu la font de llum de l'interferòmetre amb la plataforma i dividiu la superfície de la plataforma en àrees de quadrícula de 50 mm × 50 mm. Posteriorment, es van recollir les dades de les franges d'interferència punt per punt i es van ajustar i analitzar les dades mitjançant el polinomi de Zernike per obtenir l'error de planitud. Aquest mètode és aplicable a plataformes d'alta precisió i pot detectar errors de planitud de ≤0,5 μm/m². S'utilitza habitualment en la detecció de màquines de fotolitografia i plataformes de màquines de mesura de tres coordenades d'alta gamma.
Ii. Mètode de matriu de nivell electrònic
La detecció de matriu de nivells electrònics és fàcil d'operar i altament eficient. El nivell electrònic TESA A2 (amb una resolució de 0,01 μm/m) es va seleccionar i disposar en una matriu de 9 × 9 al llarg de la direcció de l'eix X/Y de la plataforma. Mitjançant la recopilació sincronitzada de les dades d'inclinació de cada nivell i després l'ús del mètode dels mínims quadrats per al càlcul, es pot obtenir amb precisió el valor de planitud. Aquest mètode pot identificar eficaçment les condicions locals de concavitat i convexitat de la plataforma. Per exemple, també es pot detectar una fluctuació de 0,2 μm dins d'un rang de 50 mm, cosa que és adequada per a una detecció ràpida en la producció en massa.
Iii. Mètode de cristall pla òptic
El mètode de cristall pla òptic és adequat per a la detecció de plataformes d'àrea petita. Fixeu el cristall pla òptic fermament a la superfície que s'ha de provar a la plataforma i observeu les franges d'interferència formades entre elles sota la il·luminació d'una font de llum monocromàtica (com ara una làmpada de sodi). Si les franges són franges rectes paral·leles, indica una bona planitud. Si apareixen franges corbes, calculeu l'error de planitud en funció del grau de curvatura de la franja. Cada franja corba representa una diferència d'alçada de 0,316 μm i les dades de planitud es poden obtenir mitjançant una simple conversió.
Quatre. Mètode d'inspecció de la màquina de mesura de tres coordenades
La màquina de mesura de tres coordenades pot aconseguir mesures d'alta precisió en un espai tridimensional. Col·loqueu la plataforma de granit a la taula de treball de la màquina de mesura i utilitzeu la sonda per recopilar dades uniformement de múltiples punts de mesura a la superfície de la plataforma. El sistema de la màquina de mesura processa i analitza aquestes dades per generar un informe de planitud de la plataforma. Aquest mètode no només pot detectar la planitud, sinó que també pot obtenir altres paràmetres geomètrics de la plataforma simultàniament, i és adequat per a la detecció completa de grans plataformes de granit.
Dominar aquests mètodes de detecció us pot ajudar a avaluar amb precisió la planitud de la plataforma de precisió de granit i proporcionar una garantia fiable per al funcionament estable dels equips de precisió.
Data de publicació: 29 de maig de 2025