La plataforma de granit, com a eina de referència per a la mesura i el processament precisos, el seu manteniment de la precisió afecta directament la qualitat de la producció. A continuació es proporciona un pla de manteniment sistemàtic que cobreix el control ambiental, el manteniment diari i la calibració professional per garantir que la plataforma mantingui una precisió a nivell nanomètric durant molt de temps.
1. Control ambiental: Construir una barrera de protecció de precisió
Gestió de la temperatura i la humitat
La temperatura de l'entorn de treball s'ha d'estabilitzar a 20 ± 1 ℃. Cada fluctuació d'1 ℃ provocarà una deformació tèrmica de la plataforma de granit de 0,5 a 1 μm/m. Es pot instal·lar un sistema de temperatura constant al taller per evitar que les sortides de l'aire condicionat bufin directament sobre la plataforma.
La humitat s'ha de controlar entre el 40% i el 60%. Un excés d'humitat pot oxidar fàcilment les peces metàl·liques, mentre que una humitat massa baixa pot provocar interferències d'electricitat estàtica en la mesura.
Aïllament de vibracions
La plataforma s'ha de mantenir allunyada de fonts de vibració com ara màquines d'estampació i fresadores. Es recomana mantenir una distància de més de 3 metres dels equips de vibració.
Si no es pot evitar la vibració, es poden instal·lar amortidors de molla pneumàtica a la part inferior de la plataforma per reduir l'impacte de la vibració ambiental sobre la planitud de la plataforma (cosa que pot reduir la vibració externa en més d'un 80%).
2. Manteniment diari: Control meticulós des de la neteja fins a la protecció
Especificació de neteja de superfícies
Eliminació de pols: Netegeu la superfície amb pell de cérvol o un drap sense borrissol en la mateixa direcció cada dia per evitar que les partícules de pols (≥5 μm) ratllin la plataforma. Les taques difícils es poden netejar suaument amb etanol anhidre (puresa ≥99,7%). No s'han d'utilitzar dissolvents forts com l'acetona.
Desgreixatge: Si entra en contacte amb taques d'oli, netegeu-ho amb un netejador neutre diluït, després esbandiu-ho amb aigua desionitzada i deixeu-ho assecar a l'aire per evitar que l'oli mineral penetri als petits porus de la plataforma.
Protecció contra la càrrega i les col·lisions
La capacitat de càrrega de la plataforma s'ha de controlar dins del 70% de la càrrega nominal (per exemple, per a una plataforma de 1000 kg, es recomana que la càrrega sigui ≤700 kg) per evitar deformacions permanents causades per sobrecàrregues locals.
Està estrictament prohibit colpejar les peces de treball a la plataforma. Quan manipuleu eines, porteu guants tous per evitar que els objectes punxeguts ratllin la superfície (les ratllades amb una profunditat superior a 20 μm afectaran la mesura de la trajectòria de la llum reflectida).
3. Calibratge professional: el nucli del manteniment científic de la precisió
Configuració del cicle de calibratge
Escenaris d'ús convencionals: Calibració trimestral i ús d'un interferòmetre làser per detectar la planitud (amb una precisió de ±0,5 μm/m).
Ús d'alta freqüència o entorns durs: calibratge mensual, amb especial atenció a la monitorització de zones sensibles a la temperatura (com ara la vora de la plataforma a prop de fonts de calor).
Processament posterior al calibratge
Si es detecta una desviació de planitud (com ara > ±1 μm/m), un tècnic professional l'ha de polir i reparar amb micropols W1.5. L'autopoliment amb paper de vidre està estrictament prohibit.
Després del calibratge, les dades s'han de registrar i arxivar, i s'ha d'establir una corba d'atenuació de la precisió de la plataforma per predir amb antelació els requisits de manteniment.
4. Emmagatzematge i transport: eviteu pèrdues de precisió ocultes
Punts clau per a l'emmagatzematge a llarg termini
Quan s'emmagatzemi, s'ha de cobrir amb una coberta impermeable a la humitat i a la pols. La part inferior ha d'estar subjectada per tres punts (el punt de suport es troba a 2/9 de la longitud de la plataforma) per evitar la deformació per flexió causada per la gravetat (una plataforma d'1 metre pot cedir 0,3 μm a causa del suport puntual a llarg termini).
Mou la posició dels punts de suport de la plataforma regularment (mensualment) per evitar la pressió local a llarg termini.
Pla de protecció del transport
Transport de curta distància: embolicar amb escuma absorbent, fixar dins d'un marc rígid i mantenir l'acceleració dins de 2 g.
Transport de llarga distància: Cal envasar-lo al buit i omplir-lo amb nitrogen sec. Després de l'arribada, s'ha de deixar reposar durant 24 hores fins que la temperatura arribi a l'equilibri abans de desembalar-lo per evitar que l'aigua de condensació afecti la precisió.
5. Predicció de fallades: tècniques per identificar problemes precoços
Inspecció visual: Observeu regularment la superfície amb una lupa de 40x. Si es troben ratllades contínues o una disminució significativa de la brillantor, pot indicar una disminució de la precisió.
Detecció de so: Colpegeu suaument la plataforma. Si el so es torna ronc (normalment hauria de ser un so clar), pot haver-hi microesquerdes a l'interior. Deixeu d'utilitzar-la immediatament per a la detecció.
Gràcies a aquest sistema de manteniment, la plataforma de granit ZHHIMG® pot mantenir una planitud de ±1 μm/m durant 10 anys, cosa que és més de tres vegades més llarga que la vida útil de precisió de les plataformes que no es mantenen correctament. La pràctica ha demostrat que, després que una determinada fàbrica de semiconductors adoptés aquesta solució, la freqüència de calibratge de la plataforma es va reduir en un 50% i el cost de manteniment anual es va estalviar en més de 150.000 iuans.
Data de publicació: 18 de juny de 2025