A mesura que la indústria dels semiconductors busca agressivament nodes de procés inferiors a 2 nm, el marge d'error mecànic pràcticament ha desaparegut. En aquest entorn d'alt risc, l'estabilitat de la cambra de procés ja no és una preocupació secundària; és el principal coll d'ampolla per al rendiment. A ZHHIMG, estem observant un canvi fonamental en la manera com els fabricants d'equips originals (OEM) globals aborden la integritat estructural dels equips de capital semiconductors.
La física del silenci: tècniques avançades d'amortiment de vibracions
En la fabricació moderna d'oblies, les vibracions que abans es consideraven "soroll de fons" ara són catastròfiques. Tant si es tracta de les microoscil·lacions del sistema de climatització d'una instal·lació com de la inèrcia interna d'una etapa d'escaneig d'alta velocitat, l'energia descontrolada es tradueix directament en errors de superposició i patrons borrosos.
Les tècniques actuals d'amortiment de vibracions en la fabricació de semiconductors han evolucionat cap a una arquitectura multicapa. Mentre que l'amortiment passiu (que utilitza materials de gran massa com la fosa mineral o el granit de precisió) continua sent la base, estem veient un augment en la integració de l'amortiment actiu.
Els sistemes actius utilitzen actuadors piezoelèctrics i sensors en temps real per "cancel·lar" les vibracions generant contrafreqüències. Tanmateix, l'eficàcia dels sistemes actius està inherentment limitada per la relació d'amortiment del material base. Aquí és on l'experiència de ZHHIMG en materials estructurals d'alt amortiment esdevé crítica. En combinar electrònica activa amb una base de granit o compost naturalment inert, proporcionem una "Zona silenciosa" on el nanoposicionament es pot produir sense interferències.
L'auge del moviment sense fricció: tecnologia de coixinets d'aire
La demanda d'un rendiment més alt ha portat els rodaments mecànics tradicionals als seus límits. La fricció condueix a la calor, i la calor condueix a l'expansió tèrmica, l'enemic de la precisió. Això ha portat a l'adopció generalitzada detecnologia de coixinets d'aire per a etapes de precisió.
Els coixinets d'aire suporten una càrrega sobre una fina pel·lícula d'aire a pressió, normalment de només uns pocs micres de gruix. Com que no hi ha contacte físic, no hi ha fricció estàtica (estàtica). Això permet:
-
Moviment sense histèresi: garanteix que l'escenari torni exactament a la mateixa coordenada nanomètrica cada vegada.
-
Constança de velocitat: crítica per a aplicacions d'escaneig com la inspecció de feix electrònic, on fins i tot el més mínim "deformació" d'un coixinet mecànic distorsionaria la imatge.
-
Longevitat extrema: Com que no hi ha peces en contacte, no hi ha desgast ni generació de partícules, cosa que els fa ideals per a entorns de sala blanca de classe 1.
A ZHHIMG, fabriquem les superfícies de granit ultraplanes que serveixen com a guies per a aquests coixinets d'aire. Perquè funcionin correctament, aquestes superfícies s'han de solapar fins a una planitud mesurada en fraccions d'una longitud d'ona de la llum.
Tendències en equips de capital semiconductors: 2026 i més enllà
A mesura que avancem cap al 2026, eltendències en equips de capital semiconductorses caracteritzen pels "Tres Pilars": Modularització, Sostenibilitat i Control Tèrmic.
-
Disseny de plataforma modular: els fabricants d'equips originals (OEM) busquen mòduls base "plug-and-play". En lloc de dissenyar una base nova per a cada eina, utilitzen fonaments de precisió ZHHIMG estandarditzats que es poden adaptar per a litografia, metrologia o gravat.
-
Gestió tèrmica: Com que les fonts de llum EUV (ultraviolada extrema) generen una calor immensa, la base de la màquina ha d'actuar com un dissipador de calor massiu. Estem integrant canals de refrigeració complexos directament als nostres components minerals i de granit per mantenir un delta de $<0.01^\circ\text{C}$.
-
Compatibilitat amb el buit: Amb més processos que s'adapten a entorns d'alt buit, els materials utilitzats han de tenir zero desgasificació. El nostre processament especialitzat de granit i ceràmica garanteix que la integritat del buit mai es vegi compromesa per la fonamentació estructural.
Associació estratègica amb ZHHIMG
ZHHIMG no és només un fabricant de components; som un soci estratègic en la cadena de subministrament de control de moviment. Les nostres instal·lacions a la Xina treballen en estreta coordinació amb equips d'enginyeria de Silicon Valley i Eindhoven per resoldre els reptes d'estabilitat més difícils de la indústria.
Aprofitant les nostres tècniques de solapat patentades i el nostre profund coneixement detècniques d'amortiment de vibracions, permetem als nostres clients superar els límits de la llei de Moore. Tant si esteu desenvolupant una eina ALD (deposició de capes atòmiques) de nova generació com un sondejador d'oblies d'alta velocitat, la base comença amb ZHHIMG.
Conclusió
L'evolució de la fabricació de semiconductors és una cursa contra les lleis de la física. A mesura que la indústria s'acosta al 2026, l'enfocament en la precisió dels coixinets d'aire i l'amortiment avançat només s'intensificarà. Mantenir-se al dia d'aquestes tendències requereix una base, tant literal com figurativa, basada en l'experiència i la innovació.
Data de publicació: 26 de gener de 2026